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sunxianwen银虫 (正式写手)
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[交流]
【求助】 如何清洗Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底
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我实验准备用Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底，我一般清洗衬底，是对衬底超声5分钟；但发现，超声该衬底时，超声不到一分钟，Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底边缘上的Pt层有脱落，我就赶快终止了超声。 请问各位有经验的人士，你们是怎么清洗Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底的？ [ Last edited by sunxianwen on 2009-3-9 at 11:35 ] |
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