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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】 如何清洗Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底
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sunxianwen

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】 如何清洗Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底

我实验准备用Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底，我一般清洗衬底，是对衬底超声5分钟；但发现，超声该衬底时，超声不到一分钟，Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底边缘上的Pt层有脱落，我就赶快终止了超声。
请问各位有经验的人士，你们是怎么清洗Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底的？

[ Last edited by sunxianwen on 2009-3-9 at 11:35 ]
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1楼 2009-03-09 11:30:44
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gunnrose

铜虫 (小有名气)
先用 酒精棉 擦拭 然后再 用去离子水 冲洗。不要吝惜 擦拭是的力气 与 冲洗是的 去离子水。
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9楼2009-04-08 16:59:30
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tingyee

金虫 (小有名气)
★
dawnlight(金币+1,VIP+0):3x 3-9 13:56
这样子的结构的话，你就拿酒精漂洗一下就可以了超声我怀疑会轻微的破坏结构
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2楼2009-03-09 13:52:50
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sunxianwen

银虫 (正式写手)
酒精漂洗？是只用酒精冲洗吗，只用酒精棉球擦一下，能清洗干净吗？
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3楼2009-03-09 14:26:34
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tingyee

金虫 (小有名气)
★
sunxianwen(金币+1,VIP+0):thaks 3-9 16:53
不要擦，就用酒精冲吧，我觉得
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4楼2009-03-09 14:48:14
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