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qmzhang161

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】Hitachi S4800 SEM 附带的EDS 能进行的成分分析的最小区域是多少?

Hitachi S4800 SEM 附带的EDS 能进行的成分分析的最小区域是多少?听人说大概100多个nm, 不知道准确不准确。求高手指点。

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2009-2-26 at 00:06 ]
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)

★ ★
bio-polymer(金币+2,VIP+0):积极回复,谢谢 2-24 22:10
这和样品的元素种类以及加速电压有关,通常在微米的量级,轻元素高电压范围大一些,重元素低电压范围小一些,但是100nm基本不可能,这和束斑大小基本没什么关系。另外,提醒你电压低的时候信号会急剧减弱,可能不好分析。
2楼2009-02-24 09:13:32
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qmzhang161

金虫 (小有名气)

如果我想用它做1um左右晶粒的定量成分分析,数据有没有说服力。我的样品成分为 Ba、 sr 、Ti.

[ Last edited by qmzhang161 on 2009-2-24 at 09:43 ]
3楼2009-02-24 09:41:20
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yhw9102

木虫 (小有名气)

EDX的分析范围1微米基本上算是下限了
无论电子束有多小 产生X射线的范围最小也就是1微米啦
原理决定的
4楼2009-02-24 10:53:12
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hand1980

讨论最小区域意义不大,和你的材料,加速电压都有关系,能谱本来就是定性的,要定量用探针吧
5楼2009-02-25 09:01:34
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nanshanchake

木虫 (著名写手)

昨天恰好和天美的一个经理问起这个,他说最小只能是1微米,如果再小的话,定量分析很不准确。供参考。
6楼2009-03-05 10:57:41
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