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qmzhang161

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】Hitachi S4800 SEM 附带的EDS 能进行的成分分析的最小区域是多少？

Hitachi S4800 SEM 附带的EDS 能进行的成分分析的最小区域是多少？听人说大概100多个nm， 不知道准确不准确。求高手指点。

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2009-2-26 at 00:06 ]
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1楼 2009-02-24 09:04:32
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yhw9102

木虫 (小有名气)
EDX的分析范围1微米基本上算是下限了
无论电子束有多小 产生X射线的范围最小也就是1微米啦
原理决定的
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4楼2009-02-24 10:53:12
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)
★ ★
bio-polymer(金币+2,VIP+0):积极回复，谢谢 2-24 22:10
这和样品的元素种类以及加速电压有关，通常在微米的量级，轻元素高电压范围大一些，重元素低电压范围小一些，但是100nm基本不可能，这和束斑大小基本没什么关系。另外，提醒你电压低的时候信号会急剧减弱，可能不好分析。
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2楼2009-02-24 09:13:32
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qmzhang161

金虫 (小有名气)
如果我想用它做1um左右晶粒的定量成分分析，数据有没有说服力。我的样品成分为 Ba、 sr 、Tｉ．

[ Last edited by qmzhang161 on 2009-2-24 at 09:43 ]
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3楼2009-02-24 09:41:20
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hand1980

讨论最小区域意义不大，和你的材料，加速电压都有关系，能谱本来就是定性的，要定量用探针吧
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5楼2009-02-25 09:01:34
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