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在硅片上外延了一层薄膜，怎么测量该薄膜的电阻率？ 已有4人参与
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用四探针法测过，但是硅衬底影响测量结果，电流会从硅衬底上过，而不从薄膜上过，还有其他方法可以测吗？ 发自小木虫Android客户端 |
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