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在硅片上外延了一层薄膜,怎么测量该薄膜的电阻率? 已有4人参与
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用四探针法测过,但是硅衬底影响测量结果,电流会从硅衬底上过,而不从薄膜上过,还有其他方法可以测吗? 发自小木虫Android客户端 |
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