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智商已更新

铜虫 (小有名气)

[交流] 在硅片上外延了一层薄膜,怎么测量该薄膜的电阻率? 已有4人参与

用四探针法测过,但是硅衬底影响测量结果,电流会从硅衬底上过,而不从薄膜上过,还有其他方法可以测吗?

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智商已更新

铜虫 (小有名气)

2楼2017-10-19 13:12:11
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aaa2742

木虫 (正式写手)

可以测,楼主解决了吗
3楼2017-12-21 16:40:49
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智商已更新

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by aaa2742 at 2017-12-21 16:40:49
可以测,楼主解决了吗

没啊,没解决

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4楼2018-04-18 20:54:10
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aaa2742

木虫 (正式写手)

5楼2018-04-18 20:58:11
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智商已更新

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by aaa2742 at 2018-04-18 20:58:11
你那是什么薄膜

半导体薄膜,p型N型都没确定,霍尔和这一样啊,测不了
6楼2018-04-19 09:52:01
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aaa2742

木虫 (正式写手)

7楼2018-04-19 13:30:21
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北京NVH

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问坐标哪里,膜可以单独制备出来吗

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8楼2018-04-19 14:26:15
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智商已更新

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 北京NVH at 2018-04-19 14:26:15
请问坐标哪里,膜可以单独制备出来吗

坐标济南,不能单独制备出来,能的话就容易多了
9楼2018-04-19 20:17:43
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nanolove

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可以尝试在高阻硅片上做

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Small is different!
10楼2018-04-20 11:02:11
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