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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 在硅片上外延了一层薄膜，怎么测量该薄膜的电阻率？
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铜虫 (小有名气)

[交流] 在硅片上外延了一层薄膜，怎么测量该薄膜的电阻率？ 已有4人参与

用四探针法测过，但是硅衬底影响测量结果，电流会从硅衬底上过，而不从薄膜上过，还有其他方法可以测吗？

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1楼 2017-10-18 11:29:09
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北京NVH

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问坐标哪里，膜可以单独制备出来吗

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8楼2018-04-19 14:26:15
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智商已更新

铜虫 (小有名气)
没人吗？

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2楼2017-10-19 13:12:11
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aaa2742

木虫 (正式写手)
可以测，楼主解决了吗
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3楼2017-12-21 16:40:49
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智商已更新

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by aaa2742 at 2017-12-21 16:40:49
可以测，楼主解决了吗

没啊，没解决

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4楼2018-04-18 20:54:10
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