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hongbo1985银虫 (小有名气)
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【求助】磁控溅射ZnO薄膜厚度问题
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最近用磁控溅射做ZnO薄膜，工作压强在0.7pa，功率150w，两个小时厚度只有100nm左右，溅射速率为什么这么慢？ 溅射过程中，工作压强起伏较大，不能长时间稳定在某一确定值，为什么？气流不均匀？ 清高手解答一下，不胜感激！！ |
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