| 查看: 994 | 回复: 8 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
hongbo1985银虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】磁控溅射ZnO薄膜厚度问题
|
||
|
最近用磁控溅射做ZnO薄膜，工作压强在0.7pa，功率150w，两个小时厚度只有100nm左右，溅射速率为什么这么慢？ 溅射过程中，工作压强起伏较大，不能长时间稳定在某一确定值，为什么？气流不均匀？ 清高手解答一下，不胜感激！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
今天系统多次维护，明天很可能放榜！
已经有5人回复
-
欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律
已经有74人回复
-
岩土工程学报什么时候才能终审完呐
已经有4人回复
-
时间戳又变了8-15
已经有25人回复
-
2027广东省杰青
已经有6人回复
-
快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。
已经有3人回复
-
哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？
已经有9人回复
-
咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否
已经有26人回复
-
我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人
已经有16人回复
-
有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验）
已经有12人回复
5楼2009-02-15 09:13:15
2楼2009-02-14 21:06:38
whzg
木虫 (知名作家)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 5219.8
- 散金: 12010
- 红花: 4
- 帖子: 7265
- 在线: 338.6小时
- 虫号: 312576
- 注册: 2006-12-31
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2009-02-14 22:06:01
chenfire
木虫 (著名写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 贵宾: 0.03
- 金币: 4045.1
- 散金: 210
- 红花: 163
- 帖子: 1377
- 在线: 97.5小时
- 虫号: 592069
- 注册: 2008-09-03
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2009-02-15 01:01:25
