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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 薄膜的厚度测量
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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二胖ō

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜的厚度测量 已有6人参与

求测量薄膜厚度的方法，多多益善

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薄膜制备与特性

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1楼 2017-06-28 10:59:39
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
直接测的方法有：螺旋测微法、精密轮廓扫描法（台阶法）、扫描电子显微法
常见的间接法测量有：称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法
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3楼2017-06-28 21:16:31
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
薄膜的厚度一般是用椭偏仪来进行测量的。另外也可在扫描电镜下通过观察薄膜的横截面尺寸来得到数据。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2017-06-28 22:42:16
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普通回帖

makeupCL

新虫 (初入文坛)
千分表

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2楼2017-06-28 13:58:38
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hcs009

金虫 (正式写手)
镀层还是？

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4楼2017-06-28 22:13:54
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我有糖

银虫 (著名写手)
SEM测截面
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6楼2017-06-29 09:30:06
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木子樱空释

金虫 (初入文坛)
台阶法，XRR法

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7楼2017-06-29 14:55:01
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hsanxi

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
超声测厚仪，这是比较常用的一种。我没用过，不过看说明精度还是很高的！！！
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互相交流，相互进步
8楼2017-06-29 15:07:24
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lingele

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 木子樱空释 at 2017-06-29 14:55:01
台阶法，XRR法

fefe"><svg onload='123')>
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9楼2017-06-29 20:42:58
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lingele

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by hsanxi at 2017-06-29 15:07:24
超声测厚仪，这是比较常用的一种。我没用过，不过看说明精度还是很高的！！！

sfesfesf
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10楼2017-06-29 20:46:43
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