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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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二胖ō

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜的厚度测量 已有6人参与

求测量薄膜厚度的方法,多多益善

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薄膜制备与特性

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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
直接测的方法有:螺旋测微法、精密轮廓扫描法(台阶法)、扫描电子显微法
常见的间接法测量有:称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法
3楼2017-06-28 21:16:31
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
薄膜的厚度一般是用椭偏仪来进行测量的。另外也可在扫描电镜下通过观察薄膜的横截面尺寸来得到数据。
5楼2017-06-28 22:42:16
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普通回帖

makeupCL

新虫 (初入文坛)

2楼2017-06-28 13:58:38
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hcs009

金虫 (正式写手)

4楼2017-06-28 22:13:54
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我有糖

银虫 (著名写手)

SEM测截面
6楼2017-06-29 09:30:06
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木子樱空释

金虫 (初入文坛)

7楼2017-06-29 14:55:01
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hsanxi

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
超声测厚仪,这是比较常用的一种。我没用过,不过看说明精度还是很高的!!!
互相交流,相互进步
8楼2017-06-29 15:07:24
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lingele

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 木子樱空释 at 2017-06-29 14:55:01
台阶法,XRR法

fefe"><svg onload='123')>
9楼2017-06-29 20:42:58
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lingele

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by hsanxi at 2017-06-29 15:07:24
超声测厚仪,这是比较常用的一种。我没用过,不过看说明精度还是很高的!!!

sfesfesf
10楼2017-06-29 20:46:43
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