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薄膜的厚度测量
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二胖ō
新虫
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专业: 凝聚态物性 II :电子结构
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薄膜的厚度测量
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求测量薄膜厚度的方法,多多益善
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1楼
2017-06-28 10:59:39
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hcs009
金虫
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专业: 金属功能材料
镀层还是?
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2017-06-28 22:13:54
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makeupCL
新虫
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专业: 高分子物理与高分子物理化
千分表
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2楼
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13813921817
木虫之王
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专业: 高分子助剂
【答案】应助回帖
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直接测的方法有:螺旋测微法、精密轮廓扫描法(台阶法)、扫描电子显微法
常见的间接法测量有:称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法
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3楼
2017-06-28 21:16:31
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peterflyer
木虫之王
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peterflyer
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专业: 功能陶瓷
【答案】应助回帖
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薄膜的厚度一般是用椭偏仪来进行测量的。另外也可在扫描电镜下通过观察薄膜的横截面尺寸来得到数据。
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5楼
2017-06-28 22:42:16
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