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二胖ō

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜的厚度测量已有6人参与

求测量薄膜厚度的方法,多多益善

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薄膜制备与特性

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hcs009

金虫 (正式写手)

4楼2017-06-28 22:13:54
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makeupCL

新虫 (初入文坛)

2楼2017-06-28 13:58:38
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
直接测的方法有:螺旋测微法、精密轮廓扫描法(台阶法)、扫描电子显微法
常见的间接法测量有:称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法
3楼2017-06-28 21:16:31
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
薄膜的厚度一般是用椭偏仪来进行测量的。另外也可在扫描电镜下通过观察薄膜的横截面尺寸来得到数据。
5楼2017-06-28 22:42:16
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