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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 薄膜的厚度测量
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张zhanl

新虫 (小有名气)
杨氏模量

发自小木虫Android客户端
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11楼2017-06-29 21:36:18
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匿名

用户注销 (正式写手)
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12楼2017-06-30 11:08:20
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颐光科技

捐助贵宾 (职业作家)

【答案】应助回帖

台阶仪、反射膜厚仪、椭偏仪、AFM等均可，各有优势，主要看你自己的需求再选择哪一类测试仪器。
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13楼2018-08-15 10:52:30
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今夕何夕。

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可以采用台阶仪，光学轮廓仪进行直接测量，或者采用SEM间接测量
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14楼2019-11-14 17:52:22
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hwqMSE

新虫 (正式写手)
用物理的方法应该也能测吧，干涉原理
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15楼2019-11-14 22:35:19
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