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二胖ō

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 3
帖子: 2
在线: 1.6小时
虫号: 6444983
注册: 2017-05-04
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 薄膜的厚度测量已有6人参与

求测量薄膜厚度的方法，多多益善

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考博求助已经有0人回复

1楼 2017-06-28 10:59:39

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颐光科技

捐助贵宾 (职业作家)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1060.1
红花: 2
帖子: 3215
在线: 164小时
虫号: 9771276
注册: 2018-08-06
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

【答案】应助回帖

台阶仪、反射膜厚仪、椭偏仪、AFM等均可，各有优势，主要看你自己的需求再选择哪一类测试仪器。

13楼2018-08-15 10:52:30

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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makeupCL

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 6793014
注册: 2017-06-20
专业: 高分子物理与高分子物理化

千分表

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2楼2017-06-28 13:58:38

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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

MEPI: 2
应助: 8532 (教授)
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在线: 1122.2小时
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注册: 2014-11-27
性别: GG
专业: 高分子助剂

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

直接测的方法有：螺旋测微法、精密轮廓扫描法（台阶法）、扫描电子显微法
常见的间接法测量有：称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法

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3楼2017-06-28 21:16:31

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hcs009

金虫 (正式写手)

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专业: 金属功能材料

镀层还是？

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4楼2017-06-28 22:13:54

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