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ws4231153

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控共溅射会不会污染靶源的问题 已有1人参与

本人想研究掺杂对研究材料的影响,在文献上看见的都是用的共溅射的方法,但师姐说我们的机器共溅射的话靶源会受到污染,就不能同时让两个靶进行溅射,想问各位做过共溅射的大哥,你们是如何处理这个问题的呢?

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ws4231153

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by zhouhongpeng at 2017-06-26 13:40:16
不会吧
...

两个靶是一起开着溅射的 会污染吧 还是先开一个靶 溅射好了将这个靶用挡板挡住后 再开另一个靶

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6楼2017-06-26 13:46:41
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匿名

用户注销 (正式写手)

本帖仅楼主可见
2楼2017-06-22 12:16:33
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091820053

禁虫 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

3楼2017-06-22 15:14:33
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ws4231153

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zhouhongpeng at 2017-06-22 12:16:33
可以一起溅射

一起溅射两个靶不会相互污染吗?

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4楼2017-06-26 13:18:14
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