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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » 合金氮化物薄膜
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小妞的口袋

新虫 (初入文坛)

[求助] 合金氮化物薄膜 已有2人参与

想请教一下，测试合金氮化物薄膜里的N元素，用什么测试方式比较准确？

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1楼 2017-05-14 08:57:15
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不要这样叫我

铁虫 (著名写手)
★
小妞的口袋(20091783代发): 金币+1 2017-11-09 22:53:49
做个截面的样，再用EDS做个线扫，我做的也是合金氮化物渗层来着

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5楼2017-05-19 21:08:21
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

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★ ★
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小妞的口袋(20091783代发): 金币+2 2017-11-09 22:53:34
XPS，之后通过拟合，可以得到相对准确的N含量，前提你的薄膜成分一定是均匀的
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2楼2017-05-15 07:56:58
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
小妞的口袋(20091783代发): 金币+1 2017-11-09 22:53:39
火焰原子吸收法测定、原子发射光谱仪
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3楼2017-05-15 19:13:55
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terry_heng

新虫 (初入文坛)
★
小妞的口袋(20091783代发): 金币+1 2017-11-09 22:53:44
XPS测量内部元素的会更准确，EDX针对表面的测量好一些。

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4楼2017-05-19 20:46:59
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