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器件电极鼓起
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在聚酰亚胺薄膜上溅射依次溅射氧化铝、钛、金，之后在溶液里在80℃下泡了8个小时，器件电极图形鼓起，这是为什么？是光刻时显影没显干净，还是薄膜与衬底粘附性不好，进水了？求指点。 360截图20170512211948049.jpg |
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chentao6楼
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