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kafeitu

新虫 (小有名气)

[交流] 器件电极鼓起

在聚酰亚胺薄膜上溅射依次溅射氧化铝、钛、金，之后在溶液里在80℃下泡了8个小时，器件电极图形鼓起，这是为什么？是光刻时显影没显干净，还是薄膜与衬底粘附性不好，进水了？求指点。

器件电极鼓起
360截图20170512211948049.jpg
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1楼 2017-05-12 21:26:21
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kafeitu

新虫 (小有名气)
自己先顶一个
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2楼2017-05-12 21:42:55
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kafeitu

新虫 (小有名气)
有人遇到过这种情况吗？

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5楼2017-05-12 23:42:09
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kafeitu

新虫 (小有名气)
没人清楚吗

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9楼2017-05-13 23:43:00
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sharpmddr

新虫 (初入文坛)
★
kafeitu(金币+1): 谢谢参与
我有遇到这种现象，泡时间长了会造成整片金膜脱落。

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19楼2017-10-29 07:48:03
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sharpmddr

新虫 (初入文坛)
应该是溅射的附着性不好。

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20楼2017-10-29 07:49:07
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yuekong3楼
2017-05-12 21:53   回复  
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祝福 发自小木虫Android客户端
gengxin604楼
2017-05-12 22:02   回复  
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祝福
chentao6楼
2017-05-12 23:49   回复  
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syhorchid7楼
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冬日曙光8楼
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91088397410楼
2017-05-14 01:19   回复  
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小小小坏蛋11楼
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xhmaohan12楼
2017-05-14 03:41   回复  
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神秘海域413楼
2017-05-14 08:09   回复  
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朝都14楼
2017-05-14 08:18   回复  
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好 发自小木虫Android客户端
舞动人生201215楼
2017-05-14 08:31   回复  
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纳米材料75316楼
2017-05-14 08:32   回复  
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gorgan17楼
2017-05-14 14:30   回复  
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gorgan18楼
2017-05-17 21:00   回复  
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