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器件电极鼓起
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在聚酰亚胺薄膜上溅射依次溅射氧化铝、钛、金,之后在溶液里在80℃下泡了8个小时,器件电极图形鼓起,这是为什么?是光刻时显影没显干净,还是薄膜与衬底粘附性不好,进水了?求指点。 360截图20170512211948049.jpg |
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yuekong3楼
2017-05-12 21:53
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祝福 发自小木虫Android客户端
2017-05-12 22:02
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chentao6楼
2017-05-12 23:49
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2017-05-13 00:29
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冬日曙光8楼
2017-05-13 00:29
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91088397410楼
2017-05-14 01:19
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小小小坏蛋11楼
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舞动人生201215楼
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纳米材料75316楼
2017-05-14 08:32
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gorgan17楼
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