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器件电极鼓起
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kafeitu
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器件电极鼓起
在聚酰亚胺薄膜上溅射依次溅射氧化铝、钛、金,之后在溶液里在80℃下泡了8个小时,器件电极图形鼓起,这是为什么?是光刻时显影没显干净,还是薄膜与衬底粘附性不好,进水了?求指点。
360截图20170512211948049.jpg
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2017-05-12 21:26:21
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自己先顶一个
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2017-05-12 21:42:55
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有人遇到过这种情况吗?
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2017-05-12 23:42:09
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没人清楚吗
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2017-05-13 23:43:00
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我有遇到这种现象,泡时间长了会造成整片金膜脱落。
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2017-10-29 07:48:03
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应该是溅射的附着性不好。
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20楼
2017-10-29 07:49:07
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yuekong
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2017-05-12 21:53
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gengxin60
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chentao
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syhorchid
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冬日曙光
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910883974
10楼
2017-05-14 01:19
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小小小坏蛋
11楼
2017-05-14 01:55
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xhmaohan
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2017-05-14 03:41
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神秘海域4
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2017-05-14 08:09
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朝都
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2017-05-14 08:18
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舞动人生2012
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2017-05-14 08:31
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纳米材料753
16楼
2017-05-14 08:32
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gorgan
17楼
2017-05-14 14:30
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kafeitu(金币+1): 谢谢参与
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gorgan
18楼
2017-05-17 21:00
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