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器件电极鼓起
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在聚酰亚胺薄膜上溅射依次溅射氧化铝、钛、金，之后在溶液里在80℃下泡了8个小时，器件电极图形鼓起，这是为什么？是光刻时显影没显干净，还是薄膜与衬底粘附性不好，进水了？求指点。 360截图20170512211948049.jpg |
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售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急
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20楼2017-10-29 07:49:07
5楼2017-05-12 23:42:09
9楼2017-05-13 23:43:00
简单回复
yuekong3楼
2017-05-12 21:53
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kafeitu(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫Android客户端
冬日曙光8楼
2017-05-13 00:29
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kafeitu(金币+1): 谢谢参与
6 发自小木虫Android客户端
91088397410楼
2017-05-14 01:19
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kafeitu(金币+1): 谢谢参与
小小小坏蛋11楼
2017-05-14 01:55
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xhmaohan12楼
2017-05-14 03:41
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神秘海域413楼
2017-05-14 08:09
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朝都14楼
2017-05-14 08:18
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kafeitu(金币+1): 谢谢参与
好 发自小木虫Android客户端
200