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kafeitu

新虫 (小有名气)

[交流] 器件电极鼓起

在聚酰亚胺薄膜上溅射依次溅射氧化铝、钛、金，之后在溶液里在80℃下泡了8个小时，器件电极图形鼓起，这是为什么？是光刻时显影没显干净，还是薄膜与衬底粘附性不好，进水了？求指点。

器件电极鼓起
360截图20170512211948049.jpg
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1楼2017-05-12 21:26:21
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kafeitu

新虫 (小有名气)
自己先顶一个
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2楼2017-05-12 21:42:55
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kafeitu

新虫 (小有名气)
有人遇到过这种情况吗？

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5楼2017-05-12 23:42:09
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kafeitu

新虫 (小有名气)
没人清楚吗

发自小木虫Android客户端
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9楼2017-05-13 23:43:00
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