| 查看: 556 | 回复: 4 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
【求助】RF磁控溅射氧化物
|
|||
| 求助各位大虾，我们实验室用RF磁控溅射法向玻璃基片溅射Bi2O3靶材，总也溅射不上去，玻璃上几乎是透明的。而且溅射完毕后靶材上会出现一层黑色的物质，也不知道是什么。我们的控制条件大约是功率20，反溅射功率0.25，氩气气压5，自偏压20，温度室温到100。不知道哪个条件没控制好，还是黑色膜的问题，望这方面的牛人不吝赐教。。。 |
回复此楼» 猜你喜欢
基金委咋了？2026年的指南还没有出来？
已经有4人回复
-
纳米粒子粒径的测量
已经有8人回复
-
疑惑？
已经有5人回复
-
国自然申请面上模板最新2026版出了吗？
已经有14人回复
-
计算机、0854电子信息（085401-058412）调剂
已经有5人回复
-
Materials Today Chemistry审稿周期
已经有5人回复
-
溴的反应液脱色
已经有7人回复
-
推荐一本书
已经有12人回复
-
基金申报
已经有4人回复
-
常年博士招收(双一流，工科)
已经有4人回复
2楼2009-01-08 15:08:37
3楼2009-01-08 18:42:51
ljmeng
木虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1359.4
- 红花: 2
- 帖子: 386
- 在线: 147.3小时
- 虫号: 54365
- 注册: 2004-09-26
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2009-01-10 04:16:30
5楼2009-04-29 23:31:24