| 查看: 579 | 回复: 4 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
[交流]
【求助】RF磁控溅射氧化物
|
|||
| 求助各位大虾，我们实验室用RF磁控溅射法向玻璃基片溅射Bi2O3靶材，总也溅射不上去，玻璃上几乎是透明的。而且溅射完毕后靶材上会出现一层黑色的物质，也不知道是什么。我们的控制条件大约是功率20，反溅射功率0.25，氩气气压5，自偏压20，温度室温到100。不知道哪个条件没控制好，还是黑色膜的问题，望这方面的牛人不吝赐教。。。 |
回复此楼» 猜你喜欢
为什么中国大学工科教授们水了那么多所谓的顶会顶刊，但还是做不出宇树机器人？
已经有9人回复
-
版面费该交吗
已经有9人回复
-
体制内长辈说体制内绝大部分一辈子在底层，如同你们一样大部分普通教师忙且收入低
已经有13人回复
-
面上可以超过30页吧？
已经有4人回复
-
“人文社科而论，许多学术研究还没有达到民国时期的水平”
已经有5人回复
-
什么是人一生最重要的？
已经有4人回复
2楼2009-01-08 15:08:37
3楼2009-01-08 18:42:51
ljmeng
木虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1359.4
- 红花: 2
- 帖子: 386
- 在线: 147.3小时
- 虫号: 54365
- 注册: 2004-09-26
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2009-01-10 04:16:30
5楼2009-04-29 23:31:24