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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 电工材料 » 请问本征硅作为衬底，用什么材料作为电极去测试？
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舒尔的石头

铜虫 (初入文坛)

[求助] 请问本征硅作为衬底，用什么材料作为电极去测试？ 已有1人参与

如题，想使电极和衬底是欧姆接触而不是肖特基接触。该用什么做电极？求助。

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1楼 2017-05-05 08:16:10
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至尊木虫 (文坛精英)
本征硅有什么好测的，查手册啊 ？

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YesICan
2楼2017-05-05 08:36:36
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巴蒂315

木虫 (职业作家)
Ni或者Co

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男子汉，拿得起，放得下，真性情，大丈夫！
3楼2017-05-05 08:50:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

本征硅只是理论的状态，顶多是拉单晶的时候不主动掺杂，不去主动的做成N或者P型。硅片只能接近本征状态，所以我们一般讨论的时候都要确定硅片本身的阻值是多少的。
而对于欧姆接触来说，本征状态的硅是很难做到的，基本上都需要在硅表面做重掺杂，形成电势的梯度，让金属和重掺杂区域形成欧姆接触。
半导体工艺中，最常用的就是铝和多晶硅了。Ti也是常用材料，但是加工难度相对大。
我还很疑惑你为什么要用所谓的本征硅？几乎没人做器件用它。
你可以私信给我，因为回贴的提醒我经常看不到。
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4楼2017-05-10 16:58:44
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舒尔的石头

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-10 16:58:44
本征硅只是理论的状态，顶多是拉单晶的时候不主动掺杂，不去主动的做成N或者P型。硅片只能接近本征状态，所以我们一般讨论的时候都要确定硅片本身的阻值是多少的。
而对于欧姆接触来说，本征状态的硅是很难做到的， ...

我们用的本征硅也不是绝对的本征硅，电阻率2500欧每厘米，相当于很轻掺杂的硅。除了这种，还做了N掺杂再大些的Si（电阻率10~25）做电极，用的是In电极。但这个本征硅不知道用什么电极。我听说铝电极可以，但用电子束镀电极时会出现问题。请问铝电极该怎么镀？

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5楼2017-05-11 13:31:44
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