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舒尔的石头

铜虫 (初入文坛)

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[求助] 请问本征硅作为衬底，用什么材料作为电极去测试？已有1人参与

如题，想使电极和衬底是欧姆接触而不是肖特基接触。该用什么做电极？求助。

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1楼2017-05-05 08:16:10

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yswyx

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【答案】应助回帖

本征硅只是理论的状态，顶多是拉单晶的时候不主动掺杂，不去主动的做成N或者P型。硅片只能接近本征状态，所以我们一般讨论的时候都要确定硅片本身的阻值是多少的。
而对于欧姆接触来说，本征状态的硅是很难做到的，基本上都需要在硅表面做重掺杂，形成电势的梯度，让金属和重掺杂区域形成欧姆接触。
半导体工艺中，最常用的就是铝和多晶硅了。Ti也是常用材料，但是加工难度相对大。
我还很疑惑你为什么要用所谓的本征硅？几乎没人做器件用它。
你可以私信给我，因为回贴的提醒我经常看不到。

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4楼2017-05-10 16:58:44

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