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请问本征硅作为衬底，用什么材料作为电极去测试？ 已有1人参与
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如题，想使电极和衬底是欧姆接触而不是肖特基接触。该用什么做电极？求助。 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2017-05-05 08:36:36
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4楼2017-05-10 16:58:44
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我们用的本征硅也不是绝对的本征硅，电阻率2500欧每厘米，相当于很轻掺杂的硅。除了这种，还做了N掺杂再大些的Si（电阻率10~25）做电极，用的是In电极。但这个本征硅不知道用什么电极。我听说铝电极可以，但用电子束镀电极时会出现问题。请问铝电极该怎么镀？ 发自小木虫Android客户端 |
5楼2017-05-11 13:31:44
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