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汕头大学海洋科学接受调剂
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舒尔的石头

铜虫 (初入文坛)

[求助] 请问本征硅作为衬底,用什么材料作为电极去测试? 已有1人参与

如题,想使电极和衬底是欧姆接触而不是肖特基接触。该用什么做电极?求助。

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至尊木虫 (文坛精英)

本征硅有什么好测的,查手册啊 ?

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YesICan
2楼2017-05-05 08:36:36
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巴蒂315

木虫 (职业作家)

男子汉,拿得起,放得下,真性情,大丈夫!
3楼2017-05-05 08:50:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

本征硅只是理论的状态,顶多是拉单晶的时候不主动掺杂,不去主动的做成N或者P型。硅片只能接近本征状态,所以我们一般讨论的时候都要确定硅片本身的阻值是多少的。
而对于欧姆接触来说,本征状态的硅是很难做到的,基本上都需要在硅表面做重掺杂,形成电势的梯度,让金属和重掺杂区域形成欧姆接触。
半导体工艺中,最常用的就是铝和多晶硅了。Ti也是常用材料,但是加工难度相对大。
我还很疑惑你为什么要用所谓的本征硅?几乎没人做器件用它。
你可以私信给我,因为回贴的提醒我经常看不到。
4楼2017-05-10 16:58:44
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舒尔的石头

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-10 16:58:44
本征硅只是理论的状态,顶多是拉单晶的时候不主动掺杂,不去主动的做成N或者P型。硅片只能接近本征状态,所以我们一般讨论的时候都要确定硅片本身的阻值是多少的。
而对于欧姆接触来说,本征状态的硅是很难做到的, ...

我们用的本征硅也不是绝对的本征硅,电阻率2500欧每厘米,相当于很轻掺杂的硅。除了这种,还做了N掺杂再大些的Si(电阻率10~25)做电极,用的是In电极。但这个本征硅不知道用什么电极。我听说铝电极可以,但用电子束镀电极时会出现问题。请问铝电极该怎么镀?

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5楼2017-05-11 13:31:44
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