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舒尔的石头

铜虫 (初入文坛)

[求助] 请问本征硅作为衬底,用什么材料作为电极去测试?已有1人参与

如题,想使电极和衬底是欧姆接触而不是肖特基接触。该用什么做电极?求助。

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舒尔的石头

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2017-05-10 16:58:44
本征硅只是理论的状态,顶多是拉单晶的时候不主动掺杂,不去主动的做成N或者P型。硅片只能接近本征状态,所以我们一般讨论的时候都要确定硅片本身的阻值是多少的。
而对于欧姆接触来说,本征状态的硅是很难做到的, ...

我们用的本征硅也不是绝对的本征硅,电阻率2500欧每厘米,相当于很轻掺杂的硅。除了这种,还做了N掺杂再大些的Si(电阻率10~25)做电极,用的是In电极。但这个本征硅不知道用什么电极。我听说铝电极可以,但用电子束镀电极时会出现问题。请问铝电极该怎么镀?

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5楼2017-05-11 13:31:44
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