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1017549406金虫 (小有名气)
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[交流]
CVD石墨烯转移PMMA去除问题，怎么都去不干净
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我转移石墨烯有半年多了，最近转移的石墨烯表面无论如何都去除不干净，一开始反面用氧离子轰击弄干净了，但最近这招也不管用了，怀疑是pmma的残余，但是怎么才能去干净呢？我用的是电子束曝光用的pmma，950k，溶于苯甲醚，希望得到虫友帮助，急，转移后图如下 发自小木虫Android客户端 |
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看着不像是PMMA，更像是铜没有去除干净，或者是氯化铁没有洗干净，用的什么刻蚀液？腐蚀多长时间？ 发自小木虫Android客户端 |
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10175494065楼2017-05-01 16:26:12
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