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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » CVD石墨烯转移PMMA去除问题，怎么都去不干净
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伟大的母牛

新虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
7楼: Originally posted by 1017549406 at 2017-05-01 16:37:00
fecl3,静置腐蚀一夜，一般多于12h
...

你试试过硫酸铵溶液吧，我觉得可能是刻蚀液的问题

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11楼2017-05-01 17:06:01
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1017549406

金虫 (小有名气)
好的，谢谢！

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12楼2017-05-01 17:06:44
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haomin.wan

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有谁能去干净?很难吧

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13楼2017-05-01 20:25:51
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1017549406

金虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by haomin.wan at 2017-05-01 20:25:51
有谁能去干净?很难吧

但是我一开始转移石墨烯的时候至少在5倍光学显微镜看着比较干净，后来某一天突然就脏的很夸张，找不到原因

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14楼2017-05-01 20:52:57
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haomin.wan

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这是由于你保存有问题，环境更脏

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1017549406
15楼2017-05-01 23:08:11
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1017549406

金虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
15楼: Originally posted by haomin.wan at 2017-05-01 23:08:11
这是由于你保存有问题，环境更脏

在超净间用丙酮去除pmma以后就是这样的，干净的样品拿到外面也比较干净

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16楼2017-05-01 23:24:15
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匿名

用户注销 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1017549406: 金币+10, 谢谢回复，很有帮助！ 2017-05-02 08:37:46
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1017549406
17楼2017-05-01 23:58:08
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juvenok

至尊木虫 (职业作家)

欲之上而得之中
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1017549406: 金币+10, 回答很有帮助，谢谢！ 2017-05-02 08:43:47
我感觉你这是双面CVD石墨烯有一面没有用氧等离子烧干净，铜刻蚀之后背面石墨烯卷曲起来裹住了PMMA导致洗不干净。另外刻蚀液严重不推荐氯化铁，会导致石墨烯破损。建议用过硫铵，转子搅拌除气泡；氯化铜在快速冲洗避免沉淀的情况下也可以用。

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1017549406
singleboys~singleboys~~singlealltheway~~~
18楼2017-05-02 00:39:24
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1017549406

金虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by xbd8125 at 2017-05-01 23:58:08
FeCl3刻蚀过夜，5%HCl浸泡半个小时，用蒸馏水洗涤多次，楼主的情况主要是铜没反应完全或者氯化铁没洗干净

昨天我把不干净的石墨烯放在稀硝酸里，很多脏东西都没有了，可能是残余的金属吧，请问用稀HCl会使石墨烯被doping吗？感谢您的回答

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19楼2017-05-02 08:36:44
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1017549406

金虫 (小有名气)
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引用回帖:
18楼: Originally posted by juvenok at 2017-05-02 00:39:24
我感觉你这是双面CVD石墨烯有一面没有用氧等离子烧干净，铜刻蚀之后背面石墨烯卷曲起来裹住了PMMA导致洗不干净。另外刻蚀液严重不推荐氯化铁，会导致石墨烯破损。建议用过硫铵，转子搅拌除气泡；氯化铜在快速冲洗避 ...

我用的是双面石墨烯，而且没有去除反面石墨烯，以前用氧离子去反面石墨烯，正面的pmma抗刻蚀能力不强，也变薄了很多，导致转移的时候很容易破，请问您怎么去除背面的石墨烯呢？

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20楼2017-05-02 08:42:55
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