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1017549406金虫 (小有名气)
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CVD石墨烯转移PMMA去除问题，怎么都去不干净
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我转移石墨烯有半年多了，最近转移的石墨烯表面无论如何都去除不干净，一开始反面用氧离子轰击弄干净了，但最近这招也不管用了，怀疑是pmma的残余，但是怎么才能去干净呢？我用的是电子束曝光用的pmma，950k，溶于苯甲醚，希望得到虫友帮助，急，转移后图如下 发自小木虫Android客户端 |
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送红花一朵 |
我用的是双面石墨烯，而且没有去除反面石墨烯，以前用氧离子去反面石墨烯，正面的pmma抗刻蚀能力不强，也变薄了很多，导致转移的时候很容易破，请问您怎么去除背面的石墨烯呢？ 发自小木虫Android客户端 |
20楼2017-05-02 08:42:55
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2楼2017-05-01 16:12:38
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3楼2017-05-01 16:18:39
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4楼2017-05-01 16:18:54