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1017549406金虫 (小有名气)
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[交流]
CVD石墨烯转移PMMA去除问题,怎么都去不干净
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我转移石墨烯有半年多了,最近转移的石墨烯表面无论如何都去除不干净,一开始反面用氧离子轰击弄干净了,但最近这招也不管用了,怀疑是pmma的残余,但是怎么才能去干净呢?我用的是电子束曝光用的pmma,950k,溶于苯甲醚,希望得到虫友帮助,急,转移后图如下 发自小木虫Android客户端 |
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1017549406: 金币+10, 谢谢回复! 2017-05-01 16:46:17
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1017549406: 金币+10, 谢谢回复! 2017-05-01 16:46:17
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看着不像是PMMA,更像是铜没有去除干净,或者是氯化铁没有洗干净,用的什么刻蚀液?腐蚀多长时间? 发自小木虫Android客户端 |
5楼2017-05-01 16:26:12
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2楼2017-05-01 16:12:38
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3楼2017-05-01 16:18:39
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4楼2017-05-01 16:18:54







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