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金虫 (小有名气)

[交流] CVD石墨烯转移PMMA去除问题,怎么都去不干净

我转移石墨烯有半年多了,最近转移的石墨烯表面无论如何都去除不干净,一开始反面用氧离子轰击弄干净了,但最近这招也不管用了,怀疑是pmma的残余,但是怎么才能去干净呢?我用的是电子束曝光用的pmma,950k,溶于苯甲醚,希望得到虫友帮助,急,转移后图如下

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1017549406

金虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by 伟大的母牛 at 2017-05-01 16:26:12
看着不像是PMMA,更像是铜没有去除干净,或者是氯化铁没有洗干净,用的什么刻蚀液?腐蚀多长时间?
...

fecl3,静置腐蚀一夜,一般多于12h

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7楼2017-05-01 16:37:00
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1017549406

金虫 (小有名气)

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2楼2017-05-01 16:12:38
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1017549406

金虫 (小有名气)

我怎么自己都看不到图,再加一次

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3楼2017-05-01 16:18:39
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1017549406

金虫 (小有名气)

4楼2017-05-01 16:18:54
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