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a503700672银虫 (小有名气)
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[求助]
购买ALD设备,需要关注什么参数,哪些牌子型号的比较靠谱? 已有2人参与
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| 课题组准备购买一台国产的原子层沉积设备(ALD),请问什么品牌和型号的比较好,招标的时候主要关注哪些参数?请用过的各位大神能多指点。谢谢! |
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a503700672
银虫 (小有名气)
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5楼2017-04-20 09:26:00
cord
铁杆木虫 (著名写手)
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【答案】应助回帖
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感谢参与,应助指数 +1
a503700672: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-04-20 09:20:15
感谢参与,应助指数 +1
a503700672: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-04-20 09:20:15
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设备真空度,漏气率,接口的制造方式,除了真空度需要保证(室温的极限真空和做材料时的极限真空)还想要薄膜均匀性等都需要仔细考虑 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2017-04-19 11:08:14
3楼2017-04-19 23:53:04
a503700672
银虫 (小有名气)
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4楼2017-04-20 09:21:00













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