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a503700672银虫 (小有名气)
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[求助]
购买ALD设备，需要关注什么参数，哪些牌子型号的比较靠谱？ 已有2人参与
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| 课题组准备购买一台国产的原子层沉积设备（ALD)，请问什么品牌和型号的比较好，招标的时候主要关注哪些参数？请用过的各位大神能多指点。谢谢！ |
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铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
a503700672: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-04-20 09:20:15
感谢参与，应助指数 +1
a503700672: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-04-20 09:20:15
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设备真空度，漏气率，接口的制造方式，除了真空度需要保证（室温的极限真空和做材料时的极限真空）还想要薄膜均匀性等都需要仔细考虑 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2017-04-19 11:08:14