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a503700672

银虫 (小有名气)

[求助] 购买ALD设备,需要关注什么参数,哪些牌子型号的比较靠谱?已有2人参与

课题组准备购买一台国产的原子层沉积设备(ALD),请问什么品牌和型号的比较好,招标的时候主要关注哪些参数?请用过的各位大神能多指点。谢谢!
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
a503700672: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-04-20 09:20:15
设备真空度,漏气率,接口的制造方式,除了真空度需要保证(室温的极限真空和做材料时的极限真空)还想要薄膜均匀性等都需要仔细考虑

发自小木虫IOS客户端
2楼2017-04-19 11:08:14
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永无止进

新虫 (正式写手)

3楼2017-04-19 23:53:04
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a503700672

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 永无止进 at 2017-04-19 23:53:04
科民电子哈哈

为啥小木虫上都说科民电子呢?是真的好么?
4楼2017-04-20 09:21:00
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a503700672

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2017-04-19 11:08:14
设备真空度,漏气率,接口的制造方式,除了真空度需要保证(室温的极限真空和做材料时的极限真空)还想要薄膜均匀性等都需要仔细考虑

那请问国产的什么牌子比较好呢?我看小木虫上包括楼下的都推荐科民电子的,真的不错么?
5楼2017-04-20 09:26:00
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★
a503700672: 金币+3, ★★★★★最佳答案 2017-09-07 08:49:13
引用回帖:
5楼: Originally posted by a503700672 at 2017-04-20 09:26:00
那请问国产的什么牌子比较好呢?我看小木虫上包括楼下的都推荐科民电子的,真的不错么?...

国产设备里面,算是最好的了。关键部件是进口的,外型也比别的国产的漂亮多了。
6楼2017-04-24 18:50:54
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小顺666

金虫 (小有名气)

新虫

可以考虑一下科民电子
最初不相识,最终不相认
7楼2017-05-05 10:27:10
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8楼2017-08-18 07:55:00
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9楼2017-08-20 08:27:08
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小目蟲

新虫 (初入文坛)

10楼2019-05-08 09:56:49
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