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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 购买ALD设备，需要关注什么参数，哪些牌子型号的比较靠谱？
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a503700672

银虫 (小有名气)

[求助] 购买ALD设备，需要关注什么参数，哪些牌子型号的比较靠谱？ 已有2人参与

课题组准备购买一台国产的原子层沉积设备（ALD)，请问什么品牌和型号的比较好，招标的时候主要关注哪些参数？请用过的各位大神能多指点。谢谢！
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1楼 2017-04-19 10:10:34
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
a503700672: 金币+2, ★★★很有帮助 2017-04-20 09:20:15
设备真空度，漏气率，接口的制造方式，除了真空度需要保证（室温的极限真空和做材料时的极限真空）还想要薄膜均匀性等都需要仔细考虑

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2楼2017-04-19 11:08:14
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永无止进

新虫 (正式写手)
科民电子哈哈

发自小木虫Android客户端
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3楼2017-04-19 23:53:04
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a503700672

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 永无止进 at 2017-04-19 23:53:04
科民电子哈哈

为啥小木虫上都说科民电子呢？是真的好么？
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4楼2017-04-20 09:21:00
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a503700672

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2017-04-19 11:08:14
设备真空度，漏气率，接口的制造方式，除了真空度需要保证（室温的极限真空和做材料时的极限真空）还想要薄膜均匀性等都需要仔细考虑

那请问国产的什么牌子比较好呢？我看小木虫上包括楼下的都推荐科民电子的，真的不错么？
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5楼2017-04-20 09:26:00
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
a503700672: 金币+3, ★★★★★最佳答案 2017-09-07 08:49:13
引用回帖:
5楼: Originally posted by a503700672 at 2017-04-20 09:26:00
那请问国产的什么牌子比较好呢？我看小木虫上包括楼下的都推荐科民电子的，真的不错么？...

国产设备里面，算是最好的了。关键部件是进口的，外型也比别的国产的漂亮多了。
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6楼2017-04-24 18:50:54
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小顺666

金虫 (小有名气)

新虫
可以考虑一下科民电子
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最初不相识，最终不相认
7楼2017-05-05 10:27:10
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gwwmsu874
8楼2017-08-18 07:55:00
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uxbkrmf53
9楼2017-08-20 08:27:08
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小目蟲

新虫 (初入文坛)
哪个课题组啊

发自小木虫IOS客户端
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10楼2019-05-08 09:56:49
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