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银虫 (小有名气)

[求助] 购买ALD设备，需要关注什么参数，哪些牌子型号的比较靠谱？已有2人参与

课题组准备购买一台国产的原子层沉积设备（ALD)，请问什么品牌和型号的比较好，招标的时候主要关注哪些参数？请用过的各位大神能多指点。谢谢！

1楼 2017-04-19 10:10:34

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银虫 (小有名气)

引用回帖:

3楼: Originally posted by 永无止进 at 2017-04-19 23:53:04
科民电子哈哈

为啥小木虫上都说科民电子呢？是真的好么？

4楼2017-04-20 09:21:00

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银虫 (小有名气)

引用回帖:

2楼: Originally posted by cord at 2017-04-19 11:08:14
设备真空度，漏气率，接口的制造方式，除了真空度需要保证（室温的极限真空和做材料时的极限真空）还想要薄膜均匀性等都需要仔细考虑

那请问国产的什么牌子比较好呢？我看小木虫上包括楼下的都推荐科民电子的，真的不错么？

5楼2017-04-20 09:26:00

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