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汕头大学海洋科学接受调剂
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卡住kobe

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻 已有8人参与

最近做光刻，底曝光之后已经在光刻胶上清晰看出掩膜板上的图案，但是跟显影液显影之后，什么都没有了，得到的基底看起来比较难看。
求大神指导步骤。
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1楼 2017-04-13 20:33:59
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cherry1226

新虫 (职业作家)
★
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如果是正胶，有可能是曝光过了，还有可能你在转移过程中遇到了白光，导致曝光显影掉了；还有可能是你softback的时候没有烘烤好，有可能是温度不够或者时间不足，或者是热板或者烘箱显示问题导致化学放大胶脚链反应不足，断链没做好，或者显影液你用的是纯的而不是3038导致碱性太强，你也可以把你的工艺流程加图片等发到我邮箱，我帮你看看

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6楼2017-04-18 18:02:27
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普通回帖

温馨妹

新虫 (小有名气)
用的什么光刻胶

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2楼2017-04-15 17:00:23
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daisy2956

新虫 (初入文坛)
★
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曝光不足，或者过显了？
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3楼2017-04-17 10:55:17
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苏hzr

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你的是正胶还是负胶，正胶就有可能是曝光过量或过显，负胶就是曝光不足，交联不充分
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多少事，从来急，天地转，光阴迫，一万年太久，只争朝夕
4楼2017-04-18 17:12:13
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布筝11

木虫 (著名写手)
★
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是不是曝光后在白光下看啦

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5楼2017-04-18 17:48:51
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lzcsoul

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
显影时间，温度，控制好，防止过显

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7楼2017-04-18 18:27:29
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1351459515

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
求问，你的问题解决没，我的和你一样，光刻胶是N244，显影液是NMD-3，2.38%，曝光后有清晰图像，一显影全没了
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8楼2017-04-23 14:38:37
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卡住kobe

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 温馨妹 at 2017-04-15 17:00:23
用的什么光刻胶

谢谢，我们这实验室环境不行啊，去别的地方做了
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9楼2017-05-14 09:45:36
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卡住kobe

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by cherry1226 at 2017-04-18 18:02:27
如果是正胶，有可能是曝光过了，还有可能你在转移过程中遇到了白光，导致曝光显影掉了；还有可能是你softback的时候没有烘烤好，有可能是温度不够或者时间不足，或者是热板或者烘箱显示问题导致化学放大胶脚链反应不 ...

是的 谢谢你的回复 那么耐心的帮我解答，谢谢你，我们实验室环境不行去其他的地方做了
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10楼2017-05-14 09:47:39
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