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卡住kobe

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻 已有8人参与

最近做光刻，底曝光之后已经在光刻胶上清晰看出掩膜板上的图案，但是跟显影液显影之后，什么都没有了，得到的基底看起来比较难看。
求大神指导步骤。
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1楼 2017-04-13 20:33:59
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卡住kobe

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by cherry1226 at 2017-04-18 18:02:27
如果是正胶，有可能是曝光过了，还有可能你在转移过程中遇到了白光，导致曝光显影掉了；还有可能是你softback的时候没有烘烤好，有可能是温度不够或者时间不足，或者是热板或者烘箱显示问题导致化学放大胶脚链反应不 ...

是的 谢谢你的回复 那么耐心的帮我解答，谢谢你，我们实验室环境不行去其他的地方做了
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10楼2017-05-14 09:47:39
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查看全部 17 个回答

温馨妹

新虫 (小有名气)
用的什么光刻胶

发自小木虫IOS客户端
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2楼2017-04-15 17:00:23
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daisy2956

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
曝光不足，或者过显了？
赞一下 回复此楼
3楼2017-04-17 10:55:17
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苏hzr

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你的是正胶还是负胶，正胶就有可能是曝光过量或过显，负胶就是曝光不足，交联不充分
赞一下 回复此楼
多少事，从来急，天地转，光阴迫，一万年太久，只争朝夕
4楼2017-04-18 17:12:13
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