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卡住kobe

新虫 (初入文坛)

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虫号: 5822493
注册: 2017-03-03
专业: 金属材料表面科学与工程

[交流] 光刻已有8人参与

最近做光刻，底曝光之后已经在光刻胶上清晰看出掩膜板上的图案，但是跟显影液显影之后，什么都没有了，得到的基底看起来比较难看。
求大神指导步骤。

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1楼 2017-04-13 20:33:59

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

卡住kobe

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:

6楼: Originally posted by cherry1226 at 2017-04-18 18:02:27
如果是正胶，有可能是曝光过了，还有可能你在转移过程中遇到了白光，导致曝光显影掉了；还有可能是你softback的时候没有烘烤好，有可能是温度不够或者时间不足，或者是热板或者烘箱显示问题导致化学放大胶脚链反应不 ...

是的谢谢你的回复那么耐心的帮我解答，谢谢你，我们实验室环境不行去其他的地方做了