| 查看: 2351 | 回复: 16 | |||
[交流]
光刻 已有8人参与
|
|||
|
最近做光刻，底曝光之后已经在光刻胶上清晰看出掩膜板上的图案，但是跟显影液显影之后，什么都没有了，得到的基底看起来比较难看。 求大神指导步骤。 |
回复此楼» 猜你喜欢
ZL-AI-NORAI 新物体识别精细行为分析系统如何自动判别探索行为？
已经有0人回复
-
科研试剂采购指南：荧光素钾盐优质批发商有哪些，信誉稳定可选博蕾德
已经有0人回复
-
工程热物理与能源利用论文润色/翻译怎么收费?
已经有204人回复
-
大小鼠睡眠剥夺仪光源与旋转模式可自由设置？
已经有0人回复
-
大小鼠肢体协调能力如何评估？大小鼠爬杆实验装置检测运动与平衡表型
已经有0人回复
-
Barnes 迷宫智能分析系统自动定位目标孔探索行为
已经有0人回复
-
27申博自荐/机械加电气控制方向
已经有1人回复
-
小动物睡眠剥夺仪可编程旋转干扰，搭配逻辑联动光源
已经有0人回复
-
27机械申博自荐
已经有1人回复
cherry1226
新虫 (职业作家)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 2439.1
- 散金: 3272
- 红花: 99
- 沙发: 6
- 帖子: 3269
- 在线: 255.3小时
- 虫号: 4630218
- 注册: 2016-04-26
- 性别: MM
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
如果是正胶，有可能是曝光过了，还有可能你在转移过程中遇到了白光，导致曝光显影掉了；还有可能是你softback的时候没有烘烤好，有可能是温度不够或者时间不足，或者是热板或者烘箱显示问题导致化学放大胶脚链反应不足，断链没做好，或者显影液你用的是纯的而不是3038导致碱性太强，你也可以把你的工艺流程加图片等发到我邮箱，我帮你看看 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2017-04-18 18:02:27
2楼2017-04-15 17:00:23
3楼2017-04-17 10:55:17
4楼2017-04-18 17:12:13
布筝11 
木虫 (著名写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 2281.6
- 散金: 294
- 红花: 5
- 帖子: 1028
- 在线: 640小时
- 虫号: 2347393
- 注册: 2013-03-14
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2017-04-18 17:48:51
lzcsoul
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1386.6
- 红花: 1
- 帖子: 132
- 在线: 32.1小时
- 虫号: 3699574
- 注册: 2015-02-27
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子材料
7楼2017-04-18 18:27:29
8楼2017-04-23 14:38:37
9楼2017-05-14 09:45:36
10楼2017-05-14 09:47:39
