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最近做光刻，底曝光之后已经在光刻胶上清晰看出掩膜板上的图案，但是跟显影液显影之后，什么都没有了，得到的基底看起来比较难看。 求大神指导步骤。 |
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cherry1226
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如果是正胶，有可能是曝光过了，还有可能你在转移过程中遇到了白光，导致曝光显影掉了；还有可能是你softback的时候没有烘烤好，有可能是温度不够或者时间不足，或者是热板或者烘箱显示问题导致化学放大胶脚链反应不足，断链没做好，或者显影液你用的是纯的而不是3038导致碱性太强，你也可以把你的工艺流程加图片等发到我邮箱，我帮你看看 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2017-04-18 18:02:27
2楼2017-04-15 17:00:23
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布筝11 
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lzcsoul
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