| 查看: 6824 | 回复: 7 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
Az5214 问题？？ 已有3人参与
|
||
各为大神，请教个问题我用az5214做反转胶用，做的参数如下：旋涂光刻胶 1.2um左右，前烘 90度 2分钟；曝光6s（功率差不多50mj\cm2）；反转烘120度 2分钟10s；裸曝光16s；显影 35s，显影液用的正胶显影液。结果如下图，不知道为什么一个4寸片子上出现不同的结果，还有就是结果比我的掩膜版图形小一点，什么原因啊，在线等，谢谢了1 10.jpg  C.jpg  D.jpg  G.jpg  B.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有82人回复
nononorain
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 13
- 散金: 5
- 帖子: 17
- 在线: 12.7小时
- 虫号: 24971004
- 注册: 2021-01-12
- 专业: 微/纳机械系统
7楼2021-03-28 20:48:16
Alice_rong
银虫 (初入文坛)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 433.8
- 帖子: 11
- 在线: 696.3小时
- 虫号: 1257943
- 注册: 2011-04-07
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2017-03-27 20:28:47
3楼2017-03-30 22:14:32
yanqingzhi
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 69
- 散金: 22
- 帖子: 12
- 在线: 13.7小时
- 虫号: 3075454
- 注册: 2014-03-20
- 专业: 非线性光学与量子光学
4楼2018-09-21 16:30:31