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Az5214 问题？？ 已有3人参与
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各为大神，请教个问题我用az5214做反转胶用，做的参数如下：旋涂光刻胶 1.2um左右，前烘 90度 2分钟；曝光6s（功率差不多50mj\cm2）；反转烘120度 2分钟10s；裸曝光16s；显影 35s，显影液用的正胶显影液。结果如下图，不知道为什么一个4寸片子上出现不同的结果，还有就是结果比我的掩膜版图形小一点，什么原因啊，在线等，谢谢了1 10.jpg  C.jpg  D.jpg  G.jpg  B.jpg |
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Alice_rong
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yanqingzhi
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