| 查看: 2154 | 回复: 13 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
光刻问题求助。 已有4人参与
|
||
这个图片拍的差了点，但直线条边上的参差不齐的边缘图案还能看见。想问一下出现这种情况的原因和解决方式。胶厚2.5um。谢谢各位大牛～ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有132人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
14楼2017-07-06 11:40:04
lee0803
木虫 (小有名气)
- 应助: 34 (小学生)
- 金币: 2591.4
- 散金: 863
- 红花: 2
- 帖子: 155
- 在线: 253.4小时
- 虫号: 3087972
- 注册: 2014-03-25
- 性别: MM
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
【答案】应助回帖
★
感谢参与，应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+1, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:49:59
感谢参与，应助指数 +1
wataru_kazaf: 金币+1, ★★★很有帮助 2017-04-03 15:49:59
|
线条的黑边也很严重。可能是掩膜版和片子接触不好，也可能是曝光剂量不对。最好把你详细的工艺流程说明一下，逐步排查。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2017-03-20 16:50:09
叫我小川兄吧
木虫 (正式写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2332.9
- 散金: 1791
- 红花: 17
- 帖子: 792
- 在线: 199.6小时
- 虫号: 3226397
- 注册: 2014-05-22
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2017-03-20 22:48:28
4楼2017-03-21 10:17:22
