应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 玻璃上溅射Pt 图案 边缘粗糙问题
111/1返回列表
查看: 1954  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

[交流] 玻璃上溅射Pt 图案 边缘粗糙问题




请教个问题，这是先用AZ或者瑞红在玻璃上做光刻图案，然后再溅射金属Pt,  然后再去除不需要的Pt金属部分。用去胶液超声，图案边缘很粗糙怎么处理呢:
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2017-03-17 17:53:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

光刻电子

禁虫 (正式写手)
★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
4楼2017-03-21 11:28:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Alice_rong

银虫 (初入文坛)
★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
图形边缘粗糙很大程度上是曝光的问题 请检查镀膜工艺前的图形边缘

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2017-03-21 19:16:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xuhaiming13

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-03-21 05:28:47
去胶不净造成，用PLASMA打一下就可以了。

溅射的Pt  在去胶液去胶时，感觉Pt像片状剥离。 也就是要去掉的部分 与不需要去掉的部分 连在一起。如果用摇床摇或者超声 。就把边缘撕开豁口。这该怎么解决呢
赞一下 回复此楼
6楼2017-03-22 09:41:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xuhaiming13

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by Alice_rong at 2017-03-21 13:16:41
图形边缘粗糙很大程度上是曝光的问题 请检查镀膜工艺前的图形边缘

曝光是没有问题的。去胶这一步骤  不知道怎么优化，我是去胶液摇床摇 或者超声 去胶的。 会撕裂图形边缘结构。该怎么办
赞一下 回复此楼
7楼2017-03-22 09:44:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Alice_rong

银虫 (初入文坛)
玻璃上溅射Pt  图案 边缘粗糙问题

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
8楼2017-03-28 08:57:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Alice_rong

银虫 (初入文坛)
首先：匀胶前要注意基片的清洁，衬底粘附性差会导致镀膜后整片玻璃；其次：Lift-off工艺最好保证胶的侧壁陡直或呈梯形，能有效避免侧壁沉积金属带来剥离时的粘连影响；第三：镀膜准直性控制及胶与膜的厚度比优化，这也同样可以减少剥离时金属膜层和胶保护层间的相互影响

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
9楼2017-03-28 08:57:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

鱼儿哥

捐助贵宾 (初入文坛)
★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
我也在做光刻玻璃上图案方向的项目，有时间可以请教下么
赞一下 回复此楼
10楼2017-09-05 14:36:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

648582818

版主 (著名写手)
★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
把光刻胶那一层做厚一点试试看。。。。。。。。。。
赞一下 回复此楼
11楼2017-09-15 11:12:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
syhorchid2楼
2017-03-17 17:56   回复  
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
nono20093楼
2017-03-18 17:30   回复  
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 xuhaiming13 的主题更新
111/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭