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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 玻璃上溅射Pt 图案 边缘粗糙问题
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xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

[交流] 玻璃上溅射Pt 图案 边缘粗糙问题




请教个问题，这是先用AZ或者瑞红在玻璃上做光刻图案，然后再溅射金属Pt,  然后再去除不需要的Pt金属部分。用去胶液超声，图案边缘很粗糙怎么处理呢:
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1楼 2017-03-17 17:53:25
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光刻电子

禁虫 (正式写手)
★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
4楼2017-03-21 11:28:47
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Alice_rong

银虫 (初入文坛)
★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
图形边缘粗糙很大程度上是曝光的问题 请检查镀膜工艺前的图形边缘

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5楼2017-03-21 19:16:41
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xuhaiming13

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-03-21 05:28:47
去胶不净造成，用PLASMA打一下就可以了。

溅射的Pt  在去胶液去胶时，感觉Pt像片状剥离。 也就是要去掉的部分 与不需要去掉的部分 连在一起。如果用摇床摇或者超声 。就把边缘撕开豁口。这该怎么解决呢
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6楼2017-03-22 09:41:43
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xuhaiming13

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by Alice_rong at 2017-03-21 13:16:41
图形边缘粗糙很大程度上是曝光的问题 请检查镀膜工艺前的图形边缘

曝光是没有问题的。去胶这一步骤  不知道怎么优化，我是去胶液摇床摇 或者超声 去胶的。 会撕裂图形边缘结构。该怎么办
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7楼2017-03-22 09:44:21
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Alice_rong

银虫 (初入文坛)
玻璃上溅射Pt  图案 边缘粗糙问题

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8楼2017-03-28 08:57:39
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Alice_rong

银虫 (初入文坛)
首先：匀胶前要注意基片的清洁，衬底粘附性差会导致镀膜后整片玻璃；其次：Lift-off工艺最好保证胶的侧壁陡直或呈梯形，能有效避免侧壁沉积金属带来剥离时的粘连影响；第三：镀膜准直性控制及胶与膜的厚度比优化，这也同样可以减少剥离时金属膜层和胶保护层间的相互影响

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9楼2017-03-28 08:57:45
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鱼儿哥

捐助贵宾 (初入文坛)
★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
我也在做光刻玻璃上图案方向的项目，有时间可以请教下么
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10楼2017-09-05 14:36:23
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版主 (著名写手)
★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
把光刻胶那一层做厚一点试试看。。。。。。。。。。
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11楼2017-09-15 11:12:02
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syhorchid2楼
2017-03-17 17:56   回复  
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
nono20093楼
2017-03-18 17:30   回复  
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
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