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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 玻璃上溅射Pt 图案 边缘粗糙问题
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xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

[交流] 玻璃上溅射Pt 图案 边缘粗糙问题




请教个问题，这是先用AZ或者瑞红在玻璃上做光刻图案，然后再溅射金属Pt,  然后再去除不需要的Pt金属部分。用去胶液超声，图案边缘很粗糙怎么处理呢:
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1楼2017-03-17 17:53:25
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Alice_rong

银虫 (初入文坛)
首先：匀胶前要注意基片的清洁，衬底粘附性差会导致镀膜后整片玻璃；其次：Lift-off工艺最好保证胶的侧壁陡直或呈梯形，能有效避免侧壁沉积金属带来剥离时的粘连影响；第三：镀膜准直性控制及胶与膜的厚度比优化，这也同样可以减少剥离时金属膜层和胶保护层间的相互影响

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9楼2017-03-28 08:57:45
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光刻电子

禁虫 (正式写手)
★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
4楼2017-03-21 11:28:47
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Alice_rong

银虫 (初入文坛)
★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与
图形边缘粗糙很大程度上是曝光的问题 请检查镀膜工艺前的图形边缘

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5楼2017-03-21 19:16:41
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xuhaiming13

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-03-21 05:28:47
去胶不净造成，用PLASMA打一下就可以了。

溅射的Pt  在去胶液去胶时，感觉Pt像片状剥离。 也就是要去掉的部分 与不需要去掉的部分 连在一起。如果用摇床摇或者超声 。就把边缘撕开豁口。这该怎么解决呢
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6楼2017-03-22 09:41:43
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