版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 13.3
帖子: 14
在线: 6.4小时
虫号: 5096407

[交流] 玻璃上溅射Pt 图案边缘粗糙问题

请教个问题，这是先用AZ或者瑞红在玻璃上做光刻图案，然后再溅射金属Pt, 然后再去除不需要的Pt金属部分。用去胶液超声，图案边缘很粗糙怎么处理呢:

» 猜你喜欢

金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有95人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:
查看全部散金贴

1楼2017-03-17 17:53:25

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 13.3
帖子: 14
在线: 6.4小时
虫号: 5096407

引用回帖:

5楼: Originally posted by Alice_rong at 2017-03-21 13:16:41
图形边缘粗糙很大程度上是曝光的问题请检查镀膜工艺前的图形边缘

曝光是没有问题的。去胶这一步骤不知道怎么优化，我是去胶液摇床摇或者超声去胶的。会撕裂图形边缘结构。该怎么办

7楼2017-03-22 09:44:21

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 11 个回答

光刻电子

禁虫 (正式写手)

★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与

本帖内容被屏蔽

4楼2017-03-21 11:28:47

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

Alice_rong

银虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 433.8
帖子: 11
在线: 696.3小时
虫号: 1257943

★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与

图形边缘粗糙很大程度上是曝光的问题请检查镀膜工艺前的图形边缘

发自小木虫IOS客户端

5楼2017-03-21 19:16:41

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 13.3
帖子: 14
在线: 6.4小时
虫号: 5096407

引用回帖:

4楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-03-21 05:28:47
去胶不净造成，用PLASMA打一下就可以了。

溅射的Pt 在去胶液去胶时，感觉Pt像片状剥离。也就是要去掉的部分与不需要去掉的部分连在一起。如果用摇床摇或者超声。就把边缘撕开豁口。这该怎么解决呢

6楼2017-03-22 09:41:43

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 11 个回答