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xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
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在线: 6.4小时
虫号: 5096407

[交流] 玻璃上溅射Pt 图案边缘粗糙问题

请教个问题，这是先用AZ或者瑞红在玻璃上做光刻图案，然后再溅射金属Pt, 然后再去除不需要的Pt金属部分。用去胶液超声，图案边缘很粗糙怎么处理呢:

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1楼 2017-03-17 17:53:25

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鱼儿哥

捐助贵宾 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 7143059

★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与

我也在做光刻玻璃上图案方向的项目，有时间可以请教下么

10楼2017-09-05 14:36:23

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查看全部 11 个回答

光刻电子

禁虫 (正式写手)

★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与

本帖内容被屏蔽

4楼2017-03-21 11:28:47

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Alice_rong

银虫 (初入文坛)

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虫号: 1257943

★
xuhaiming13(金币+1): 谢谢参与

图形边缘粗糙很大程度上是曝光的问题请检查镀膜工艺前的图形边缘

发自小木虫IOS客户端

5楼2017-03-21 19:16:41

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xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

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虫号: 5096407

引用回帖:

4楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-03-21 05:28:47
去胶不净造成，用PLASMA打一下就可以了。

溅射的Pt 在去胶液去胶时，感觉Pt像片状剥离。也就是要去掉的部分与不需要去掉的部分连在一起。如果用摇床摇或者超声。就把边缘撕开豁口。这该怎么解决呢

6楼2017-03-22 09:41:43

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