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liangkeya

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶匀涂

请教各位大神如何解决光刻胶匀胶厚度和均匀度问题。这与光刻胶粘度,和匀胶旋转速度有关我晓得,但是光刻胶储存需低温,而旋涂时需室温下旋涂。但是光刻胶的粘度与温度有关,怎么才能控制好粘度。人工操作的话,怎么保证均匀平整度。

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huanying

禁虫 (初入文坛)


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2楼2017-03-06 10:01:45
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祝福
3楼2017-03-06 11:18:21
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583860729

禁虫 (小有名气)


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4楼2017-03-06 19:26:58
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



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你的问题点是有道理的,实际使用中,光刻胶从低温取出后,是需要进行回温的,要使得光刻胶的温度达到室温的水平再涂敷。
至于均匀性和平整度,与光刻胶厚度,黏度,匀胶机加速度,衬底形状,环境,气流等很多因素有关。均匀性和平整度不是一个定性的概念,所以再讨论的时候,需要给出期望的目标值,然后再讨论各个因素对其的影响。一般情况下,人工操作,2%的均匀性还是能保证的。
5楼2017-03-07 14:15:16
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lehai1010

木虫 (正式写手)


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根据光刻胶量的多少,从冰箱取出后需要回温2h到24h不等。
6楼2017-04-05 10:09:45
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送红花一朵
7楼2017-07-27 16:09:45
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bozhong3

铁杆木虫 (著名写手)


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楼主,我也搞这个,大家多交流

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我喜欢打酱油
8楼2018-12-12 21:25:05
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