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光刻胶匀涂
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请教各位大神如何解决光刻胶匀胶厚度和均匀度问题。这与光刻胶粘度，和匀胶旋转速度有关我晓得，但是光刻胶储存需低温，而旋涂时需室温下旋涂。但是光刻胶的粘度与温度有关，怎么才能控制好粘度。人工操作的话，怎么保证均匀平整度。 发自小木虫Android客户端 |
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4楼2017-03-06 19:26:58
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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2楼2017-03-06 10:01:45
yswyx 
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- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
5楼2017-03-07 14:15:16
6楼2017-04-05 10:09:45