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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶匀涂
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liangkeya

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶匀涂

请教各位大神如何解决光刻胶匀胶厚度和均匀度问题。这与光刻胶粘度，和匀胶旋转速度有关我晓得，但是光刻胶储存需低温，而旋涂时需室温下旋涂。但是光刻胶的粘度与温度有关，怎么才能控制好粘度。人工操作的话，怎么保证均匀平整度。

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biany_yg

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1楼 2017-03-03 09:43:51
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lehai1010

木虫 (正式写手)
★
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根据光刻胶量的多少，从冰箱取出后需要回温2h到24h不等。
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6楼2017-04-05 10:09:45
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huanying

禁虫 (初入文坛)
★
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2楼2017-03-06 10:01:45
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583860729

禁虫 (小有名气)
★
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4楼2017-03-06 19:26:58
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
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你的问题点是有道理的，实际使用中，光刻胶从低温取出后，是需要进行回温的，要使得光刻胶的温度达到室温的水平再涂敷。
至于均匀性和平整度，与光刻胶厚度，黏度，匀胶机加速度，衬底形状，环境，气流等很多因素有关。均匀性和平整度不是一个定性的概念，所以再讨论的时候，需要给出期望的目标值，然后再讨论各个因素对其的影响。一般情况下，人工操作，2%的均匀性还是能保证的。
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5楼2017-03-07 14:15:16
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