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liangkeya

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[交流] 光刻胶匀涂

请教各位大神如何解决光刻胶匀胶厚度和均匀度问题。这与光刻胶粘度，和匀胶旋转速度有关我晓得，但是光刻胶储存需低温，而旋涂时需室温下旋涂。但是光刻胶的粘度与温度有关，怎么才能控制好粘度。人工操作的话，怎么保证均匀平整度。

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biany_yg

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1楼 2017-03-03 09:43:51

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huanying

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2楼2017-03-06 10:01:45

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gyfbamc37

祝福

3楼2017-03-06 11:18:21

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583860729

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4楼2017-03-06 19:26:58

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yswyx

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你的问题点是有道理的，实际使用中，光刻胶从低温取出后，是需要进行回温的，要使得光刻胶的温度达到室温的水平再涂敷。
至于均匀性和平整度，与光刻胶厚度，黏度，匀胶机加速度，衬底形状，环境，气流等很多因素有关。均匀性和平整度不是一个定性的概念，所以再讨论的时候，需要给出期望的目标值，然后再讨论各个因素对其的影响。一般情况下，人工操作，2%的均匀性还是能保证的。