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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射制备氧化铝Al2O3薄膜
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liuyuexue

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备氧化铝Al2O3薄膜 已有1人参与

有用过磁控溅射（最好是沈科仪的）做氧化铝薄膜的吗？衬底是陶瓷材料。用铝靶通氧气反应溅射和直接溅射氧化铝靶材哪种好？有何区别？能否长出晶态薄膜？
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tomorrowisanotherday
1楼 2017-03-01 10:15:16
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gyfbamc37
祝福
2楼2017-03-01 10:53:01
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匿名

用户注销 (小有名气)
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3楼2017-03-03 21:43:32
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zengbinjian

铜虫 (正式写手)
两种都可以，要结晶的话可能还要退火

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4楼2017-03-05 12:15:12
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故乡的一抹风

新虫 (小有名气)
我也是要做氧化铝的。。我最近看的文章也是用的沈科仪的设备，里面研究溅射功率和沉积速率的关系图。我想问一下沉积速率是怎么得到的？我用的仪器是北京中方盖德的。
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5楼2017-03-08 10:15:12
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故乡的一抹风

新虫 (小有名气)
我也是要做氧化铝的。。我最近看的文章也是用的沈科仪的设备，里面研究溅射功率和沉积速率的关系图。我想问一下沉积速率是怎么得到的？我用的仪器是北京中方盖德的。
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6楼2017-03-08 10:20:34
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故乡的一抹风

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zengbinjian at 2017-03-05 12:15:12
两种都可以，要结晶的话可能还要退火

我也是要做氧化铝的。。我最近看的文章也是用的沈科仪的设备，里面研究溅射功率和沉积速率的关系图。我想问一下沉积速率是怎么得到的？我用的仪器是北京中方盖德的。
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7楼2017-03-08 10:20:42
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zengbinjian

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 故乡的一抹风 at 2017-03-08 10:20:34
我也是要做氧化铝的。。我最近看的文章也是用的沈科仪的设备，里面研究溅射功率和沉积速率的关系图。我想问一下沉积速率是怎么得到的？我用的仪器是北京中方盖德的。

你测下膜厚就可以算沉积速率了啊

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8楼2017-03-08 16:06:51
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很闪很闪

金虫 (小有名气)
同问，增大溅射靶功率和偏压，能不能做出结晶的氧化铝？

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Forwonderfultomorrow
9楼2017-03-08 18:41:55
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故乡的一抹风

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zengbinjian at 2017-03-05 12:15:12
两种都可以，要结晶的话可能还要退火

你好，我想问一下频磁控溅射的氧化铝薄膜XRD的标准峰应该是2θ角为多少度呢
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10楼2017-04-01 19:30:56
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