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liuyuexue

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备氧化铝Al2O3薄膜已有1人参与

有用过磁控溅射(最好是沈科仪的)做氧化铝薄膜的吗?衬底是陶瓷材料。用铝靶通氧气反应溅射和直接溅射氧化铝靶材哪种好?有何区别?能否长出晶态薄膜?
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薄膜制备与特性

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tomorrowisanotherday
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祝福
2楼2017-03-01 10:53:01
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匿名

用户注销 (小有名气)

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3楼2017-03-03 21:43:32
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zengbinjian

铜虫 (正式写手)

两种都可以,要结晶的话可能还要退火

发自小木虫Android客户端
4楼2017-03-05 12:15:12
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故乡的一抹风

新虫 (小有名气)

我也是要做氧化铝的。。我最近看的文章也是用的沈科仪的设备,里面研究溅射功率和沉积速率的关系图。我想问一下沉积速率是怎么得到的?我用的仪器是北京中方盖德的。
5楼2017-03-08 10:15:12
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故乡的一抹风

新虫 (小有名气)

我也是要做氧化铝的。。我最近看的文章也是用的沈科仪的设备,里面研究溅射功率和沉积速率的关系图。我想问一下沉积速率是怎么得到的?我用的仪器是北京中方盖德的。
6楼2017-03-08 10:20:34
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故乡的一抹风

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by zengbinjian at 2017-03-05 12:15:12
两种都可以,要结晶的话可能还要退火

我也是要做氧化铝的。。我最近看的文章也是用的沈科仪的设备,里面研究溅射功率和沉积速率的关系图。我想问一下沉积速率是怎么得到的?我用的仪器是北京中方盖德的。
7楼2017-03-08 10:20:42
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zengbinjian

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 故乡的一抹风 at 2017-03-08 10:20:34
我也是要做氧化铝的。。我最近看的文章也是用的沈科仪的设备,里面研究溅射功率和沉积速率的关系图。我想问一下沉积速率是怎么得到的?我用的仪器是北京中方盖德的。

你测下膜厚就可以算沉积速率了啊

发自小木虫Android客户端
8楼2017-03-08 16:06:51
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很闪很闪

金虫 (小有名气)

同问,增大溅射靶功率和偏压,能不能做出结晶的氧化铝?

发自小木虫Android客户端
Forwonderfultomorrow
9楼2017-03-08 18:41:55
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故乡的一抹风

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by zengbinjian at 2017-03-05 12:15:12
两种都可以,要结晶的话可能还要退火

你好,我想问一下频磁控溅射的氧化铝薄膜XRD的标准峰应该是2θ角为多少度呢
10楼2017-04-01 19:30:56
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